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2100万,复旦大学电子束蒸发仪等采购国际招标
发布日期:2019-12-26 17:53:21

复旦大学现就电子束蒸发仪等采购进行国际公开招标,欢迎合格的供应商前来投标。

 

电子束蒸发法仪

电子束蒸发法是真空蒸发镀膜的一种,是在真空条件下利用电子束进行直接加热蒸发材料,使蒸发材料气化并向基板输运,在基底上凝结形成薄膜的方法。在电子束加热装置中,被加热的物质放置于水冷的柑涡中,可避免蒸发材料与柑祸壁发生反应影响薄膜的质量,因此,电子束蒸发沉积法可以制备高纯薄膜,同时在同一蒸发沉积装置中可以安置多个增祸,实现同时或分别蒸发,沉积多种不同的物质。通过电子束蒸发,任何材料都可以被蒸发,不同材料需要采用不同类型的增竭以获得所要达到的蒸发率。

 

电子束蒸发仪可以蒸发高熔点材料,比一般电阻加热蒸发热效率高、 束流密度大、蒸发速度快,制成的薄膜纯度高、质 量好,厚度可以较准确地控制,可以广泛应用于制备高纯薄膜和导电玻璃等各种光学材料薄膜。


一、预算及采购内容

1、预算金额:2100万元人民币

2、采购内容

●电子束蒸发仪 2套  预算金额400万人民币元,要求:主泵采用抽速不低于790L/S的分子泵

●反应离子刻蚀机 2套  预算金额300万元人民币,要求:射频源采用射频发生器、并配置自动匹配盒

●光刻机(Mask Aligner2套  预算金额800万元人民币,要求:光强均匀度:优于±2.5%

●扫描电子显微镜  2套  预算金额600万元人民币,要求:加速电压:0.02kV~30kV,加速电压10V步进连续可调,电子着陆能量范围:20eV~30keV(在不使用样品台减速模式下)

 

二、招标文件的发售时间及地点等:

时间:2019年12月26日 09:00 至 2020年01月03日 16:00(双休日及法定节假日除外)

地点:中国上海延安西路358号美丽园大厦14楼

招标文件售价:¥500.0 元,本公告包含的招标文件售价总和

招标文件获取方式:现场领购

 

三、投标时间及地点

投标截止时间:2020-01-16 10:00

投标文件送达地点:邯郸路220号逸夫科技楼3楼303B会议室

 

四、开标时间及地点

开标时间:2020-01-16 10:00

开标地点:邯郸路220号逸夫科技楼3楼303B会议室

 

五、联系事宜

招标人:复旦大学

地址:上海市邯郸路220号

联系人:张老师

联系方式 :86-21-65641327

 

招标代理机构:上海国际招标有限公司

地址:中国上海延安西路358号美丽园大厦14楼

联系人:王晓、马骎

联系方式 :86-21-62791919×192、176